شیرهای سوزنی مدرج خلا در سیستم های خلا بالا نقش بسیار مهمی ایفا می کنند. سیستم های خلا بالا از جمله سیستم هایی هستند که در آنها فشار سیال به صورت بسیار پایین (معمولاً در حدود 10^-3 تا 10^-9 میلیبار) تنظیم می شود. این سیستم ها در بسیاری از صنایع، از جمله صنایع فضایی، صنایع نیمه رساناها، صنایع الکترونیکی و صنایع پزشکی استفاده می شوند.در سیستم های خلا بالا، شیرهای سوزنی مدرج خلا به دلیل دقت بالا در کنترل جریان و قابلیت تنظیم دقیق فشار، بسیار مورد استفاده قرار می گیرند. این شیرها با حرکت سوزن مدرج خود به سمت بالا یا پایین، میزان جریان سیال و فشار را تنظیم می کنند.یکی از کاربردهای اصلی شیرهای سوزنی مدرج خلا در سیستم های خلا بالا، کنترل دقیق جریان گازها و سیالات است. این شیرها قادرند جریان سیال را به صورت دقیق و پایدار تنظیم کنند، که بسیار حائز اهمیت است زیرا در سیستم های خلا بالا هر تغییر کوچکی در جریان یا فشار می تواند تأثیر بزرگی بر عملکرد و دقت سیستم داشته باشد.علاوه بر این، شیرهای سوزنی مدرج خلا در سیستم های خلا بالا برای کنترل و تنظیم فشار سیالات نیز استفاده می شوند. این شیرها با تنظیم حرکت سوزن مدرج، میزان فشار سیال را به صورت دقیق و قابل تنظیم تنظیم می کنند، که در سیستم های خلا بالا بسیار حائز اهمیت است.در نتیجه، شیرهای سوزنی مدرج خلا در سیستم های خلا بالا به دلیل دقت بالا در کنترل جریان و تنظیم فشار، اهمیت زیادی دارند و در صنایع مختلف مورد استفاده قرار می گیرند. این شیرها باعث بهبود دقت و کنترل بیشتر جریان و فشار در سیستم های خلا بالا می شوند.
در سیستمهای خلا بالا ذکر کرد، استفاده از این شیرها در صنعت نیمهرساناها میباشد. در صنعت نیمهرساناها، سیستمهای خلا بالا برای تولید و فرآوری اجزای الکترونیکی استفاده میشوند.در این صنعت، شیرهای سوزنی مدرج خلا برای کنترل جریان گازها و سیالات در فرآیندهای تولید نیمهرساناها استفاده میشوند. به عنوان مثال، در فرآیند رشد و روکشدهی لایههای نیمهرساناها، از گازهای خاصی مانند سیلان (Silane) استفاده میشود. شیر سوزنی مدرج خلا در اینجا میتواند جریان سیلان را به صورت دقیق و قابل تنظیم کنترل کند. با تنظیم دقیق جریان سیال، امکان کنترل دقیق فرآیند رشد و روکشدهی لایهها فراهم میشود.همچنین، در صنعت الکترونیکی، در فرآیندهایی مانند تولید ترانزیستورها و مدارهای الکترونیکی، از شیرهای سوزنی مدرج خلا برای کنترل جریان و فشار سیالات استفاده میشود. این شیرها با تنظیم دقیق جریان و فشار سیال، امکان تولید قطعات الکترونیکی با دقت بالا و کیفیت بهتر را فراهم میکنند.بنابراین، کاربرد شیر سوزنی مدرج خلا در سیستمهای خلا بالا در صنعت نیمهرساناها و صنایع الکترونیکی میتواند بهبود عملکرد و کنترل دقیقتر فرآیندهای تولید و فرآوری اجزای الکترونیکی را به ارمغان بیاورد.
هم اکنون در میلیبارتک ۲ مدل شیر سوزنی مدرج موجود می باشد که تفاوت آنها در قطر نازل آن ها میباشد که این تفاوت باعث تغییر دبی جریان سیال میشود .
جهت انتخاب مدل شیر سوزنی مناسب خود میتوانید از جدول زیر استفاده کنید یا با همکاران ما تماس بگیرید.
| مدل | قطر نازل | دبی |
| مدل ۱ | ||
| مدل ۲ |
کاربرد
دستگاه های CVD
دستگاه های PE-CVD
دستکاه لایه نشانی SPUTTERING
کوره های عملیات حرارتی تحت خلا و تحت جریان گاز
دستگاه های لایه نشانی تحت خلا
دستگاه های نیتراسیون پلاسمایی
کاتالوگ