برای ضخامت سنجی لایه های نازک در دستگاه PVD از روشی به نام ضخامت سنجی با کریستال کوارتز استفاده میکنیم. اصول کار این روش اندازه گیری ضخامت ، بر اساس تغییر فرکانس نوسان کریستال کوارتز در محفظه خلا بر اساس میزان لایه ای است که روی صفحات کوارتز هنگام لایه نشانی نشسته است. این روش اندازه گیری بصورت Real Time می باشد.
مشخصات کریستال ضخامت سنج به شرح زیر می باشد.
| فرکانس علامت گذاری | 6MHz | Marking Frequency |
| فرکانس اسمی | 5.983MHz | Nominal Frequency |
| تلرانس | ±7KHz@25oC | Adjustment Tolerance |
| قطر | 13.97mm±0.03mm | Diameter |
| مقاومت رزونانس | ≤15Ω | Resonance Resistance |
| برش کریستال | AT-CUT | Crystal Cutting |
| دمای کاری | 25oC ~ 75oC | Operating Temperature |
| جنس الکترود | Gold(Au) / Chrome(Cr) | Electrode Material |
| ظاهر | 2 anchors | Appearance |
| دمای نگهداری | -20oC ~ 85oC | Storage Temperature |
| رطوبت نگهداری | RH 30 ~ 50% | Storage Humidity |
عموما کریستال های مارک Inficon یا Maxtek یا JJK موجود می باشند.
